在美中科技戰越演越烈,美國對中國半導體產業的封鎖滴水不漏之際,市場傳出中國在關鍵設備自主化上邁出重要一步。據美國媒體《The Information》周一(27 日)報導,一家位於上海、獲官方支持的企業,已開始小規模生產自研的浸潤式深紫外光(DUV)曝光機,此舉被視為挑戰由荷蘭巨頭艾司摩爾(ASML)長期壟斷市場的破冰之舉,為全球半導體供應鏈的未來走向投下震撼彈。

長久以來,曝光機作為晶片製造的核心設備,是中國半導體發展最受掣肘的環節。在先進的極紫外光(EUV)曝光機早已被美國禁止對華銷售後,華府更計畫透過《匹配法案》(MATCH Act)進一步限縮DUV設備的出口與後續維修、零件供應,意圖徹底癱瘓中國的晶片產線。面對外部壓力,中國全力加速「去美化」供應鏈的建構。消息指出,該上海企業已整合了宇量昇科技等新創團隊的研發力量,計畫今年生產5台國產DUV設備,並於明年將產能提升至20台,預計首批設備將交付給中芯國際、華虹半導體等中國主要的晶圓代工廠。儘管消息人士透露,這款國產DUV在性能與製造品質上仍與ASML存在差距,部分關鍵零組件也尚需從日本進口,但其啟動量產本身,已是中國半導體自主化戰略的重大里程碑。
此消息一出,立即在資本市場引發劇烈震盪。ASML股價應聲重挫,並引發日、韓相關半導體設備股的連鎖拋售潮,反映出市場對於ASML在成熟製程領域的獨佔地位可能受到侵蝕的深層憂慮。然而,多數市場分析師認為,中國國產DUV在短期內尚不足以對ASML構成實質威脅。美銀證券評估,即便中國明年順利產出20台設備,對ASML年營收的衝擊也僅約2.4%,影響有限。摩根大通分析師更一針見血地指出,小規模製造與支援晶圓廠進行大規模、高穩定度的量產,是兩種截然不同的能力。國產設備未來必須在良率、套刻精度、產能效率以及長期運作的可靠性上證明自己,才能真正具備市場競爭力。
總體而言,中國成功自製DUV曝光機,是其應對外部封鎖、建立自主產業生態的關鍵一步,其戰略意義遠大於短期商業價值。儘管要追上ASML數十年累積的技術高牆仍有漫漫長路,但這項突破已明確預示,全球半導體設備市場的單一供應來源格局已開始鬆動。未來,隨著中國國產替代步伐的加快,ASML等國際大廠在中國市場的經營策略,將面臨更加嚴峻且複雜的挑戰。





